설치사례
반도체&클린룸
AF100
Oil Free Screw (2-Stage)
11.5㎥/min
- Particle : <0.01㎛
- Dew point : -40℃
- Oil : <0.01mgf㎥
AL50
Oil Free Scroll
4.16㎥/min
Breathing Air (호흡용 공기)
※ ALMS (Air Line Mask System)으로 사람이 호흡할 수 있는 압축공기를 생산하여 각 공정에 공급-> 실시 간 산소농도 측정 가능(산소측정시 설치 감시)
AS101V(VSD) & AS102
Oil Injection Screw
3.4~12.3㎥/min
- Oil : < 0.1mg/min
- Moisture : < 120mg/min
- Particle : 5㎛ < 100
